Ⅲ-Ⅴ族単結晶ウェーハ 製品ラインナップ

GaAs

ヒ化ガリウム(Gallium Arsenide)はガリウムのヒ化物であり、組成式はGaAsとして表記され、半導体素子の材料として多用されています。
半導体分野ではガリウムヒ素(ガリウム砒素)の名称で呼ばれることが多く、ガリヒ素という俗称も広く使用されています。

シリコンに比べ高価で加工が難しいデメリットがありますが、高速動作機能を持ち、また消費電力も約3分の1と少ないため小型化が容易という特徴があります。

近年では、加工技術の進歩などでGaAsデバイスも安価で供給されるようになってきており、携帯電話など小型で高周波特性が要求される用途やLED用途、レーザー用途を中心に広く普及しています

項目 説明
製法 VGF
タイプ N型/Si, P型/Zn, 半絶縁/Un-doped
直径 2インチ-3インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚み 2インチ:350/500um, 3インチ:625um
その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能

InP

リン化インジウム(リンかインジウム、Indium Phosphide)、別名インジウム燐(インジウムりん)はインジウムとリンの化合物です。

InP単結晶基板は、GaAsやGaPに比べると大きな格子定数を有するため、基板に格子整合する(格子定数が同じとなる)InGaAs、AlInAs、InGaAsP、AlGAlNAsといった材料をエピタキシャル成長することが可能となります。

これらの材料を組み合わせることで、光通信用の受発光デバイスや、超高速トランジスタ、共鳴トンネリングダイオードなどの作成が可能となります。

項目 説明
製法 LEC
タイプ N型/Sn,Fe,S,Un-doped, P型/Zn
直径 2インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚み 2インチ:350/500um,
その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能

GaSb

GaSb (Gallium Antimonide)、アンチモン化ガリウムは特別なLEC法により結晶成長させた単結晶で、赤外検出器や赤外発光ダイオード(LED)、レーザー、トランジスタ、サーモ光起電システムなどに用いられています。

また、ガリウムアンチモン(GaSb)に代表されるⅢ-Ⅴ族化合物半導体は直接遷移型の半導体であり、またシリコン(Si)系半導体に比べてバンドギャップが小さく、近赤外線領域(波長0.8μm~2.2μm)の電磁波を電力に変換できる特徴があります。

GaSbベースのソーラーセルについては、技術的に非常に難しい中、GaSb基板上へのMBEによるⅡ-Ⅵ族エピの研究も行われています。

項目 説明
製法 LEC
タイプ N型/Te, P型/Zn,Un-doped
直径 2インチ-4インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚み 2インチ:500um, 3インチ:625um, 4インチ:1000um
その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能

InAs

IIIーV族元素化合物であるInAs ( Indium Arsenide)、インジウム砒素はLEC法によって単結晶が作られる。

単結晶インゴットから薄くスライスされ、EPI ready 研磨されたウェーハ基板はエピタキシャル層を施すことにより、赤外線検出素子として計測・分析などの分野に幅広く利用されています。

項目 説明
製法 LEC
タイプ N型/S,Un-doped, P型/Zn
直径 2インチ-3インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚み 2インチ:500um, 3インチ:625um
その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能

InSb

InSb ( Indium Antimonide)、アンチモン化インジウム単結晶はⅢ-Ⅴ族化合物で閃亜鉛鉱構造の材料です。

InSbはバンドギャップが 0.17eV (室温)と狭い直接遷移型半導体で、主に赤外線サーモグラフィーや熱イメージングカメラ、自動追尾ミサイルなどの赤外線検出素子や、ホール素子、磁気抵抗効果素子などに使用されています。

項目 説明
製法 CZ
タイプ N型/Te,Un-doped, P型/Ge
直径 2インチ-4インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚み 2インチ:625um, 3インチ:800/900um, 4インチ:1000um
その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能

E&MのⅢ-Ⅴ族単結晶ウェーハの特長

  • お客様のご要望仕様に基づき、少量の研究開発から量産までお客様のニーズに応じたご対応をさせて頂きます。
  • また、特殊面方位品の(111),(110),(311)等も取り扱っております。