Ⅲ-Ⅴ族単結晶ウェーハ 製品ラインナップ
GaAs
ヒ化ガリウム(Gallium Arsenide)はガリウムのヒ化物であり、組成式はGaAsとして表記され、半導体素子の材料として多用されています。
半導体分野ではガリウムヒ素(ガリウム砒素)の名称で呼ばれることが多く、ガリヒ素という俗称も広く使用されています。
シリコンに比べ高価で加工が難しいデメリットがありますが、高速動作機能を持ち、また消費電力も約3分の1と少ないため小型化が容易という特徴があります。
近年では、加工技術の進歩などでGaAsデバイスも安価で供給されるようになってきており、携帯電話など小型で高周波特性が要求される用途やLED用途、レーザー用途を中心に広く普及しています
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 製法 | VGF |
| タイプ | N型/Si, P型/Zn, 半絶縁/Un-doped |
| 直径 | 2インチ-3インチ |
| 面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能 |
| 厚み | 2インチ:350/500um, 3インチ:625um
その他厚みもご相談に応じます |
| その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |
InP
リン化インジウム(リンかインジウム、Indium Phosphide)、別名インジウム燐(インジウムりん)はインジウムとリンの化合物です。
InP単結晶基板は、GaAsやGaPに比べると大きな格子定数を有するため、基板に格子整合する(格子定数が同じとなる)InGaAs、AlInAs、InGaAsP、AlGAlNAsといった材料をエピタキシャル成長することが可能となります。
これらの材料を組み合わせることで、光通信用の受発光デバイスや、超高速トランジスタ、共鳴トンネリングダイオードなどの作成が可能となります。
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 製法 | LEC |
| タイプ | N型/Sn,Fe,S,Un-doped, P型/Zn |
| 直径 | 2インチ |
| 面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能 |
| 厚み | 2インチ:350/500um,
その他厚みもご相談に応じます |
| その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |
GaSb
GaSb (Gallium Antimonide)、アンチモン化ガリウムは特別なLEC法により結晶成長させた単結晶で、赤外検出器や赤外発光ダイオード(LED)、レーザー、トランジスタ、サーモ光起電システムなどに用いられています。
また、ガリウムアンチモン(GaSb)に代表されるⅢ-Ⅴ族化合物半導体は直接遷移型の半導体であり、またシリコン(Si)系半導体に比べてバンドギャップが小さく、近赤外線領域(波長0.8μm~2.2μm)の電磁波を電力に変換できる特徴があります。
GaSbベースのソーラーセルについては、技術的に非常に難しい中、GaSb基板上へのMBEによるⅡ-Ⅵ族エピの研究も行われています。
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 製法 | LEC |
| タイプ | N型/Te, P型/Zn,Un-doped |
| 直径 | 2インチ-4インチ |
| 面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能 |
| 厚み | 2インチ:500um, 3インチ:625um, 4インチ:1000um
その他厚みもご相談に応じます |
| その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |
InAs
IIIーV族元素化合物であるInAs ( Indium Arsenide)、インジウム砒素はLEC法によって単結晶が作られる。
単結晶インゴットから薄くスライスされ、EPI ready 研磨されたウェーハ基板はエピタキシャル層を施すことにより、赤外線検出素子として計測・分析などの分野に幅広く利用されています。
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 製法 | LEC |
| タイプ | N型/S,Un-doped, P型/Zn |
| 直径 | 2インチ-3インチ |
| 面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能 |
| 厚み | 2インチ:500um, 3インチ:625um
その他厚みもご相談に応じます |
| その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |
InSb
InSb ( Indium Antimonide)、アンチモン化インジウム単結晶はⅢ-Ⅴ族化合物で閃亜鉛鉱構造の材料です。
InSbはバンドギャップが 0.17eV (室温)と狭い直接遷移型半導体で、主に赤外線サーモグラフィーや熱イメージングカメラ、自動追尾ミサイルなどの赤外線検出素子や、ホール素子、磁気抵抗効果素子などに使用されています。
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| 製法 | CZ |
| タイプ | N型/Te,Un-doped, P型/Ge |
| 直径 | 2インチ-4インチ |
| 面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能 |
| 厚み | 2インチ:625um, 3インチ:800/900um, 4インチ:1000um
その他厚みもご相談に応じます |
| その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |
E&MのⅢ-Ⅴ族単結晶ウェーハの特長
- お客様のご要望仕様に基づき、少量の研究開発から量産までお客様のニーズに応じたご対応をさせて頂きます。
- また、特殊面方位品の(111),(110),(311)等も取り扱っております。