Ⅲ-Ⅴ族化合物晶圆片产品系列

GaAs

砷化镓(Gallium Arsenide)是镓的砷化合物。分子式为GaAs,多用作半导体元件材料。

相比硅材料,砷化镓虽然有价格高、加工难等缺点,但是具有高速动作性能的同时,消耗电力约为三分之一,具有容易小型化的特征。

近年来,随着加工技术的进步,GaAs器件也可以低价供给,围绕手机等小型却要求高周波特性用途以及,LED、激光用途等为中心广泛普及开来。

项目 说明
制造方法 VGF
类型 N-type/Si・Te, P-type/Zn, Semi-Insulating/Un-doped
直径 2 英寸 – 3 英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光、双面镜面抛光、Epi-ready 处理,其他表面处理亦可提供
厚度 2英寸:350 μm/500 μm,3英寸:625 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InP

磷化铟(Indium Phosphide)是铟与磷的化合物。

InP单结晶衬底,相比GaAs和GaP具有大格子定数,因此可以在InP衬底上生长整合格子(相同格子定数)的InGaAs、AlInAs、InGaAsP和AlGAINAs等材料的外延片。

通过组合这些材料,从而使制造光通信用途的受发光器件,超高速转换器,共鸣隧道二极管等成为可能。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/S・Sn・Un-doped, P-type/Zn, Semi-Insulating/Fe
直径 2英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光、双面镜面抛光、Epi-ready 处理,其他表面处理亦可提供
厚度 2英寸:350 μm / 500 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

GaSb

锑化镓(Gallium Antimonide)是由特别的LEC方法结晶生长而成的单结晶,用于红外线探测器,红外发光二极管(LED)、激光、转换器、恒温光电系统等。

另外,以锑化镓(GaSb)为代表的III-V族化合物半导体属于直接迁移性半导体,与硅(Si)系半导体相比,具有能带隙小,近红外领域(波长0.8um-2.2um)电磁波可以转化为电力等特征。

以锑化镓为基础的太阳能芯片,虽然技术难度非常大,但是在GaSb衬底上进行的以MBE为主的II-VI族外延片研究也在进行中。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/Te, P-type/Un-doped, Zn
直径 2英寸 – 4英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光、双面镜面抛光、Epi-ready 处理,其他表面处理亦可提供
厚度 2英寸:500 μm,3英寸:625 μm,4英寸:1000 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InAs

砷化铟作为III-V族元素化合物,是以LEC法制造而成的单结晶。

从单结晶晶棒薄切而来,在Epi ready研磨片衬底上施加外延层,从而可以被广泛利用在测量,分析等领域使用的红外探测器件。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/S, Un-doped, P-type/Zn
直径 2英寸 – 3英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、その他仕上げも可能
厚度 2英寸:500 μm,3英寸:625 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InSb

锑化铟(Indium Antimonide)单结晶是III-V族化合物,闪锌矿构造的材料。

锑化铟的能带隙为0.17ev(室温)属于狭窄直接迁移型半导体,主要使用于红外线温度记录器,热成像摄像机,自动跟踪导弹等红外探测器件、霍尔元件、磁电阻效应元件等。

项目 说明
制造方法 CZ
类型 N-type/Te, Un-doped, P-type/Ge
直径 2英寸 – 4英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光、双面镜面抛光、Epi-ready 处理,其他表面处理亦可提供
厚度 2 英寸:625 μm,3 英寸:800 / 900 μm,4 英寸:1000 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

E&M Ⅲ-Ⅴ族化合物单晶晶圆的特长

  • 我们可根据客户的要求规格,从小批量研发到量产阶段,灵活满足客户的各类需求。
  • 此外,我们还提供特殊晶向的产品,如 (111)、(110)、(311) 等。