Ⅲ-Ⅴ族化合物晶圆产品系列

GaAs

砷化镓(Gallium Arsenide)是镓的砷化物。化学式为GaAs,多用作半导体元件材料。

与硅相比,虽然存在价格较高、加工困难的缺点,但它具有高速运行的功能,同时功耗约为三分之一,因此易于实现小型化。

近年来,随着加工技术的进步,GaAs器件也可以低价供应,并在对小型化和高频特性有要求的应用(如手机)、以及 LED和激光等应用中得到广泛普及。

项目 说明
制造方法 VGF
类型 N-type/Si, P-type/Zn, Semi-Insulating/Un-doped
直径 2 英寸 – 3 英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光,双面镜面抛光,Epi-ready以及其他表面加工
厚度 2英寸:350 μm/500 μm,3英寸:625 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InP

磷化铟(Indium Phosphide)是铟与磷的化合物。

由于InP单晶衬底相比GaAs和GaP具有较大的晶格常数,因此可以在与其晶格匹配(晶格常数相同)的衬底材料上生长外延,如InGaAs,AlInAs,InGaAsP 和 AlGaInAs。

利用这些材料的组合,可以生产光通信用的发/收光器件、超高速晶体管以及共振隧穿二极管等器件。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/Sn,Fe,S,Un-doped, P-type/Zn
直径 2英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光,双面镜面抛光,Epi-ready以及其他表面加工
厚度 2英寸:350 μm / 500 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

GaSb

锑化镓(Gallium Antimonide)是一种通过特殊的LEC法生长的单晶。它被用于红外探测器、红外发光二极管(LED)、激光器、晶体管、热光电系统等器件。

此外,以锑化镓(GaSb)为代表的Ⅲ–Ⅴ族化合物半导体属于直接跃迁型半导体。与硅(Si)半导体相比,它们的能带间隙较小,具有将近红外波段(波长 0.8μm~2.2μm)的电磁波转换为电能的特点。

以锑化镓为基础的太阳能芯片,虽然技术难度非常大,但是在GaSb衬底上进行的以MBE为主的II-VI族外延片研究也在进行中。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/Te, P-type/Un-doped, Zn
直径 2英寸 – 4英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光,双面镜面抛光,Epi-ready以及其他表面加工
厚度 2英寸:500 μm,3英寸:625 μm,4英寸:1000 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InAs

作为Ⅲ–Ⅴ族化合物的砷化铟(Indium Arsenide),其单晶是通过LEC法制备的。

从单晶锭切割成薄片并经过EPI ready抛光处理的晶圆基板,通过其上生长的外延层,可作为红外探测器,广泛应用于测量、分析等领域。

项目 说明
制造方法 LEC
类型 N-type/S, Un-doped, P-type/Zn
直径 2英寸 – 3英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光,双面镜面抛光,Epi-ready以及其他表面加工
厚度 2英寸:500 μm,3英寸:625 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

InSb

锑化铟(Indium Antimonide)单晶是一种属于Ⅲ-Ⅴ族化合物、具有闪锌矿结构的材料。

锑化铟是一种带隙为0.17eV(室温)的窄带隙直接跃迁型半导体,主要用于红外热成像仪、热成像相机、自动追踪导弹等红外探测器件,以及霍尔元件、磁阻效应元件等。

项目 说明
制造方法 CZ
类型 N-type/Te, Un-doped, P-type/Ge
直径 2英寸 – 4英寸
晶向 (100)、(110)、(111) ~ (611),其他偏角方向也可提供
表面处理 单面镜面抛光,双面镜面抛光,Epi-ready以及其他表面加工
厚度 2 英寸:625 μm,3 英寸:800 / 900 μm,4 英寸:1000 μm
其他厚度可根据需求洽谈
其他 载流子浓度、电阻率、迁移率等参数可在允许范围内指定

E&M Ⅲ-Ⅴ族化合物单晶晶圆的特长

  • 我们可根据客户的要求规格,从小批量研发到量产阶段,灵活满足客户的各类需求。
  • 此外,我们还提供特殊晶向的产品,如 (111)、(110)、(311) 等。