モニターウェハ

モニターウェハとは

本番の集積回路製造を行う前に、各製造工程において調整を行う必要がある際に使用するウエハーを指します。 例えば、基板の厚さ（の変動）に対する装置の許容度を計測するときなど、各工程・各種条件設定を行う際には、高規格・高価なウェハーの代用として安価なモニターウェハを使用します。 また、製品用ウエハーと一緒に工程を流すことによるモニターリングにも使用され、製品用プライムウエハーと並び必要なウエハー材料です。 ダミーウエハーと総称してテストウエハーと呼ばれることもあります。

各種取り揃え、特に6インチ以下につきましては、幅広いニーズにお応え致しております。パーティクルチェック、プロセスチェック用モニターとしてご満足頂ける品質を保証致します。